自动供液系统（SDS）是一套由多种液体化学品供应设备组成的系统，这些设备主要采用重力、气力或泵力为驱动力，通过管道将液体化学品输送到使用点，实现连续、安全、可靠的供应。

华林科纳供液系统供应的slurry>40种,chemical>20种,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，有超过200套的供液系统业绩。产品全面对标国际领先产品，获得国内外头部客户的认可。

以下为华林科纳供液系统详细信息：

主要用途：本系统设备主要以本地供应方式来提供制程所需之清洗液，包括研磨液原物料输送、混合稀释、循环供应功能及运转测试等

控制模式：手动控制模式、自动控制模式.

设备组成及配置

A. 箱体配置:

1. 箱体外观尺寸(mm)：1800(W) x 2000(H)(含轮子) x 800(D)（可定制）, 不锈钢骨架， PP外壳；

2. 安装抗静电轮及调整脚架, 荷重≧ 500kg；

3. 箱体外具备一组200L/Drum 的原料连接接口设计,采用 Drum cart 运输；

4. 具备测空监测；

5. 配有防漏液托盘，漏液sensor检测。

B.电气控制配置:

1. 彩色人员操作界面, Proface 10”触摸屏,操作画面设计个性化定制；

2. DI & DO 皆额外提供连接/省配线的 I/O 继电器终端模块, 继电器型式, 可拔插；

3. 电磁阀的手动方式皆具有 Push Lock 的功能, SMC/CKD；

4. 系统内俱备 200L 原料桶用的搅拌功能；

5. 三色信号指示灯；

6. 带有 EMO/漏液/空桶信号指示灯&警报器.

组件规格&制程条件技术要求:

a. 原液区域：

1. 原料桶内具备加湿功能湿度大于95%, 俱备泄压阀的安全装置 设计;

2. 200L Drum 具备独立输出/回流小循环的功能;

3. 具备 200L Drum 输出液体排空侦测报警功能；

4. 200L 原料抽取快速安装接头组, 输出、回流、Wet N2, 3 管集中于一 ；

6. 200L Drum具备搅拌功能；

原液部分带有漏液检测装置，并与主机台能互锁

原液抽液管路带有自动清洗功能。

200L 原液放置桶底部为滚轮设计，方便原液桶更换。

更多设备详情：13358064333

b. 混液供液区域：

1.Supply Tank数量：1set；

2. 具备重量侦测，称重精度±50g;

3. 具备额外的液面 HH 异常&底部液体排空侦测报警功能,传感器附感应度调整功能 ;

4. 桶槽具备高压清洗(360 度)功能;

5. 桶槽装有泄压阀的安全装置；

6. 桶带有可拆卸式的搅拌桨；

7. 具备药液 + DIW 的自动称重计量功能；

8. 混酸配方可设定≧ 10 组设定配方比；

9. 装有漏液传感器；

10. Supply tank 带有自动清洗功能；

11. Supply tank 设计排液为自动排液.

C.  Dip Tube 设计方案 设计方案说明：

1. 整体采用 HDPE 材质加工；

2. 抽液、回液、 Wet N2 汇集在一个接头上；

3. 手动关闭阀门；

4. 快拆结构设计等。

Dip Tube 设计效果图

配药液精度要求

1.药液系统最大可供应CMP机台数及供应点，最大可对应2台CMP或以上,(每台CMP的药液使用流量不小于0.6升/分钟。

2.药液管路可预留VMB接口；

3.药液可达最小可控制精度+/-50ml；

4.药液配比精度+/-3%以内；

5.药液配比速度：大于3升/分钟(配比时间包括清洗，循环,搅拌,调和时间).

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