保视丽超净PFA管——盛美（上海）半导体先进设备中的重要零部件

来源：看点时报 2024-11-06 14:47:10

在半导体FAB厂中，超净PFA管承担着运输化学品的重要作用，是前端工艺中的关键零部件。保视丽作为国内领先的超净PFA管生产商之一，以其过硬的产品性能和专业的服务，赢得了中国半导体设备龙头企业——盛美（上海）的认可与信赖。

盛美（上海）成立于2005年，一直是集成电路装备行业的领军企业，被评为“中国半导体设备五强企业”。其产品线广泛，涵盖单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备等，集研发、设计、制造、销售于一体，专注于为半导体芯片制造商提供高性能、低能耗的工艺解决方案。

盛美（上海）凭借全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，解决了晶圆在刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题，提升了半导体的生产效率和产品良率，是中国大陆少数具有国际竞争力的半导体专用设备提供商。

在半导体制程中，超净PFA管被广泛应用于前端工艺的清洗环节，它能够确保化学材料在半导体制造的苛刻环境下稳定运行，并同时保持化学品的纯净度。这对于盛美（上海）而言尤为重要。

作为引领中国半导体清洗设备的龙头企业，盛美的清洗技术在全球范围内处于领先地位，其产品已成功进入海力士、华虹集团、长江存储、长电科技等供应商体系，在业内拥有良好口碑。因此，对于超净PFA管的需求，不仅在于其对化学品纯净度的高要求，还在于其对提升清洗效率、减少晶圆表面损伤、提升产品良率的重要作用。

保视丽成立于1999年，在厦门、上海建立生产基地，以替代进口产品、实现国产化为目标，专注于超净PFA管、超净PFA接头、超净布等产品的自主研发。保视丽超净PFA管满足了盛美对PFA管零部件的严格要求，其优势在于：

1. 性能优势：采用进口大金AP 231SH高纯原材料，并通过高精密耐腐蚀PFA管材挤出机生产，确保产品的高纯净度和卓越性能。

2. 品质检测：在百级实验室中，运用安捷伦ICP-MS/MS 8900等尖端设备进行产品质量检测，保障每批成品的标准化生产。

3. 自主研发生产工艺：拥有完善的生产流程，保障产品的稳定性和可靠性。

随着国内半导体产业的高速发展，保视丽超净PFA管正在被广泛应用于各半导体生产环节中，通过与盛美（上海）的合作，保视丽不仅证明了自身产品的高性能和可靠性，也为国内半导体产业的自主可控和国际竞争力的提升做出了积极贡献。

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责任编辑：kj005