超纯水在半导体制造中扮演着关键角色,晶圆清洗、蚀刻、光刻胶去除和CMP后清洗等步骤都离不开它的参与。因此,超纯水工艺的研发和应用能力,是提升半导体制造精度和可靠性,推动行业发展的重要保障。高频科技作为国家级专精特新“小巨人”企业,依托于自身坚实的技术研发与实现能力,为客户开发围绕超纯水的一系列解决方案,进行系统交付,并提供持续可靠的运维管理服务。公司通过不断创新精进的超纯工艺能力,为半导体发展注入“芯”活力。

科研创新,专利护航,推动超纯工艺不断精进

作为微电子工艺用水,超纯水中的金属离子、有机物、细菌微生物、颗粒物,硅和溶解气体等任何污染物超标,都可能对产品良率和性能产生影响,造成企业经济重大损失。因此,半导体企业对超纯水水质的要求极为严苛,无形中提升了超纯水工艺的技术门槛。

近年来,凭借着技术创新驱动和产业升级,我国超纯水制备工艺有了长足进步。高频科技作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,专注超纯水技术二十余年,秉持研发创新驱动理念,不断突破技术瓶颈,截至目前已攻克多项行业技术难题,并累积知识产权成果70余项,涵盖发明专利、实用新型专利、软件著作权等知识产权。经过持续研发投入与工艺探索,公司超纯水系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一,打破了国际厂商对国内超纯水系统高端市场的垄断。高频科技是国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,亦是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。未来公司将立足人才优势和先发优势,不懈研发创新,持续研发和优化超纯水工艺,为半导体行业发展带去更坚实的水质保障。

技术创新挖掘降本增效潜力,赋能半导体企业竞争力提升

随着半导体行业竞争日益激烈,降本增效成为企业发展的迫切需求。高频科技将科技创新应用于废水处理、水资源回收利用及半导体水运维等领域,全方位助力客户实现成本降低和效率提升,从而增强其市场综合竞争力。

高频科技凭借先进的电子级废水处理技术和前瞻性设计能力,高效处理超过15种芯片废水,并实现深度去除污染物,同时通过精细化的水资源管理,对30多道制程废水进行分流和回收,确保了高达90%的整厂用水制备回收率。这一综合水处理循环系统不仅保证了水质达标,还显著提升了企业对水资源的利用效率,从而提高了降本增效和可持续发展能力。

此外,高频科技通过一体化的“设计—交付—运维”服务模式,结合自研的半导体超纯水运维数字化平台,提供专业定制化解决方案,确保了超纯水系统运行的稳定性和水质一致性。该平台融合数字孪生技术,实现精细化管理,优化成本,并通过多元化运维服务(如故障诊断、设备管理、水质监测、系统优化、专家指导)提升系统性问题监测水平,满足半导体产业链客户对高效、柔性生产的需求。

半导体产业链协同发展有利于行业更快进步。超纯水作为产业链的重要一环,其稳定供应和技术创新对提升产业链效率至关重要。高频科技作为本土超纯水领域的代表性企业,未来将持续专注于超纯工艺技术的研发创新,为半导体企业提升效率、降低成本及缓解水资源压力等方面发挥更加显著的作用。

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