今日，华控基金投资的国内唯一前道光学量检测设备生产企业深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称：中科飞测）成功过会。华控基金作为中科飞测的主要股东，围绕半导体产业链上下游技术创新和自主可控坚定投入，陪伴企业共同成长。

科技与产业深度融合，填补国内高端半导体质控设备市场空白

中科飞测立足于采用光学检测技术的高端半导体质量控制设备的研发工作，主要产品为高端半导体质量控制设备，包括检测设备和量测设备两大类。

检测设备的主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷；量测设备的主要功能则是对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。

质量控制设备是集成电路生产过程中的核心设备之一，是保证芯片生产良品率的关键。

中科飞测自成立以来，始终坚持自主研发、自主创新，攻克了多项设备关键模块自主化开发难题。经过多年的技术积累，公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等 9 项核心技术，拥有专利 160 项，核心技术成功应用于各系列产品，创造了良好的经济效益。

目前，中科飞测的产品成功实现科技成果与半导体产业的深度融合，获得国内多家龙头集成电路前道制程及先进封装厂商的设备验收和批量订单。与中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等集成电路前道制程及先进封装企业建立了深入的合作关系，助力客户实现降本增效目标。

同时，公司对高端半导体质量控制设备的持续研发推动了国内精密零部件供应商不断研发和完善其产品体系，在部分细分领域填补了国内高端半导体质量控制设备市场的空白，实现了国产化突破。在国家推动半导体产业发展的过程中，中科飞测承担了国家科技重大专项、国家重点研发计划等众多科研项目，已成为我国半导体质量控制设备领域的中坚力量。

以实现自主可控为己任，全面投资布局半导体产业链

物联网、5G 通信、汽车电子等新型应用市场的不断发展产生了巨大的半导体产品需求，推动半导体行业进入新一轮的发展周期。全球范围内，晶圆厂产能扩充仍在继续，下游需求的不断发展为半导体设备制造产业的扩张和升级提供了机遇。

凭借巨大的市场容量以及多年的发展，中国已成为全球最大的半导体消费国和生产国，对检测和量测设备的需求将持续快速增长。然而，中国半导体设备行业整体国产化率的提升还处于起步阶段，目前国内半导体生产厂商所使用的半导体设备仍主要依赖进口。如果检测、量测设备被人卡脖子，对于国产半导体的制造也将是沉重的打击。

华控基金以实现半导体产业链上下游技术创新和自主可控为己任，重点投资国产有积累、有突破、有创新的技术领军企业，已经完成了半导体产业链的全面投资和布局。

秉持着硬科技投资的初心，华控基金在半导体这个技术和资金密集的重资产领域坚定投入，陪伴企业实现成长。在全球经济引擎加速后，华控基金将不断助力企业技术突破创新，全面助力实现国产半导体设备供给侧提升，迈上全新台阶。

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