随着科技水平的不断提高,以半导体为基础的信息产业已成为国民经济增长的重要助力之一。如今信息产业快速发展对半导体的需求量越来越大。但是在半导体的生产中,晶粒质量的好坏直接决定了半导体生产的成功与否。因此,对晶粒质量的检测是半导体生产过程中不可忽视的一步,也是最为关注的一步,而奥林巴斯金相显微镜GX53作为其系列的高端产品为晶粒检测提供了有力支持。奥林巴斯金相显微镜GX53可以基于使用图像分析法快速对晶粒进行检测分析,看其是否符合ASTM E112或者其他各种国际标准。
奥林巴斯金相显微镜拥有新型MIX观察图像与采集检测技术,可以帮助检测晶粒之中的缺陷,操作人员通过观测可以对晶粒的质量有一个整体性的把握。该技术通过配备数码照相装置,让工作人员可以获得更加精细的高清图像,能够发现很多传统显微镜难以检测的瑕疵缺陷。并且供观察暗场所配备的环形LED照明器还可以减少检测晶粒光晕、提高对晶粒整体结构观察的清晰度,连晶粒表面和内部的可视化程度都能得到有效地提高。
奥林巴斯金相显微镜GX53能够实现多区域的高放大倍率成像,与之带来更高的信噪比可产生带有明亮色彩的荧光图像。除此之外,GX53还采用了高强度的白色LED光源进行反射和透射照明,无论光强度如何,LED光源均可保持始终如一的色温,从而实现可靠的图像质量和色彩复观。清晰锐利图像的获得让晶粒检测不像之前那样困难,从而降低了工作人员在不利环境下产生的失误,提高晶粒检测的准确度。
奥林巴斯金相显微镜GX53还拥有极强的测量能力。在进行晶粒质量控制和检查时,通过图像测量来获取各种数据,金相显微镜GX53以先进的照明技术和奥林巴斯Stream的各种测量功能为后盾,让工作人员可以轻松直观地从图像中获取有效数据。同时使用专业软件进行测量,拥有多种交互式测量功能,让所有的测量结果都可以与图像文件一同保存,方便后续存档等工作,提高晶粒检测的工作效率。
奥林巴斯金相显微镜GX53操作简洁安全,传统金相显微镜需要工作人员通过手动操作,通过原始观察对晶粒大小进行目测评估。而奥林巴斯在研发时专门针对材料科学设计了软件,不需要操作人员使用肉眼观测,只需要配合先进的成像技术、清晰的图像和可靠的检测结果获得检测数据,还可以非常准确地计算出具有重复性的粒径值,保证了晶粒检测的准确度。它采用了UIS2光学系统(无限远校正系统),使用温度范围可从5℃到40℃,可适应不同的环境,在安全性方面尽量做到无后顾之忧。
在半导体生产过程中,如果制造商能够及时发现晶粒的问题,就可以进一步降低生产成本。所以在制造中,应加强对晶粒的观察检测及时发现不良晶粒。
2022年4月4日,奥林巴斯公司宣布将其科学事业业务专制给全资子公司Evident Corporation旗下运营。未来Evident将会深入对半导体检测的研究,为工业生产提供更加高效的显微镜产品。
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