不久前,国际半导体产业协会(SEMI)发布了《“绿”动“芯”篇章——电子行业低碳转型洞察》白皮书(以下称“白皮书”),提出企业可持续发展衡量指标、目标及实践路径建议,勾勒出电子产业低碳转型的路径图。

半导体是众所周知的用水大户,半导体厂商通过与供应商合作匹配新技术来驱动水资源利用率提升,有助于提高用水效益,降低用水成本,提升半导体厂发展的可持续性。正因如此,近年来,越来越多半导体企业加大了在能源效率和可持续发展方面的投入。高频科技作为本土超纯水头部企业,通过先进的超纯水工艺和绿色厂务方案,帮助半导体企业节能降本增效,让可持续发展效益显现。

超纯水与半导体可持续发展关系密切

根据白皮书,半导体工厂可持续衡量指标原则包括7个一级指标,其中之一就是水资源利用率。这和长期以来半导体耗水量多且水资源利用率相对不高有很大关系。

半导体的制造过程需要运用大量的超纯水来维持元件的洁净度,以确保产品的质量和性能。同时,随着器件结构日益微小化,晶圆清洗技术的要求越来越高,相应的用水量也会大幅增加。以一个产能为4万片每月的200mm晶圆厂为例,每天大约需要8000-10000吨水,其中70%用于生成超纯水。而到了16nm、7nm工艺后,同样产能为4万片的12英寸晶圆厂,每天的用水量将增加到大约20000吨。考虑到晶圆厂通常的产能是每月数万片甚至数十万片,其耗水量可谓相当惊人。

我国半导体行业近年来的发展速度举世瞩目,但和美日等国家相比,水资源利用效率相对较低。比如,与美国相比,中国用水量是美国的三倍,水资源利用率亟待提升。而通过采用先进的超纯水工艺及可循环回收方案来打造绿色厂务工厂,可以帮助企业提高水循环利用率,实现节水节能,提升节流效益,并减少对水资源的过度依赖,从而实现可持续发展目标。

高频科技超纯工艺助力半导体节能降本增效

目前已有许多半导体企业将水资源管理延伸至对供应商的要求。比如台积电制定了《供应商行为准则》,落实水资源使用与排放管控,从中检视节水机会点并推动相关措施。

作为本土极具代表性的超纯工艺技术服务商,高频科技积极寻求水处理的技术突破,致力于为半导体高端制造等行业客户提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备。

高频科技的废水循环再生系统,涵盖了公司研发交付的超过30种可选回用水工艺技术,确保水制程回收率达到75%~90%。该系统可帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用以及减少设备使用损耗,通过满足环保指标和微量元素回收利用的要求,真正实现了绿色厂务,满足企业节能降本增效及可持续化发展的需求。

此外,高频科技基于多年的半导体水系统经验积累,并经过不断地创新突破,已经掌握了先进半导体制程所需的超纯水全部核心工艺,成为该领域可与国际企业同台竞争的本土超纯水企业。其产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ的理论极限值,其纯度可达99.9999999999%(ppt 级别——万亿分之一),可对标美国电子学和半导体工业用超纯水标准ASTM D5127等国际先进标准。高频科技以“纯度”为半导体企业提升良率提供助力,从而提高了半导体元件的可靠性,并降低生产成本和提高生产效率。

可持续发展是一种追求经济、社会和环境协调发展的理念。只有在可持续发展理念下,半导体行业才能实现经济效益和生态效益的最大化。作为本土领先的超纯水企业和半导体产业链的一部分,高频科技将继续致力于先进的超纯水及循环再生工艺的研发,帮助企业构建“绿色厂务”,提升竞争力,实现可持续高质量发展。

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