技术突破：激光退火设备实现"光速"量产

在第三代半导体技术快速发展的浪潮中，华工激光凭借其自主研发的全自动SiC晶圆激光退火装备，实现了从理论创新到产业应用的重大跨越。该设备以每小时18片6英寸晶圆的加工效率，在行业内树立了新的标杆。

核心技术优势：

瞬时升温：高质量脉冲激光能量密度极高，纳秒时间内即可将界面温度提升至900-1000℃

深度可控：精准光束控制实现选择性退火，深度调节灵活

局部处理：热影响区极小，避免对晶圆正面器件造成损伤

这一技术突破将接触电阻显著降低至10⁻⁵ Ω・cm²级，有效减小导通损耗，解决了传统退火工艺中热扩散难以精确控制的行业难题。

产学研深度融合：从理论到实践的完美闭环

华工激光充分发挥产学研用一体化优势，联合华工科技中央研究院、中国科学技术大学研究团队进行技术攻关。今年7月，团队最新研究成果登上国际权威期刊《Optics and Laser Technology》，系统阐述了不同激光参数下欧姆接触形成的热力学过程与界面反应机理。

这一理论突破为精准调控激光在金属与晶体界面加工特性提供了理论模型和工艺窗口，加速了前沿科研成果的落地转化。

车规级认证：品质保障的权威背书

华工激光退火设备已全面通过"车规级"认证标准，在高性能、高可靠性、高安全性、长期稳定性和批量供货能力上，完全满足电动汽车核心系统的严苛要求。目前，由华工激光设备生产的器件已稳定搭载于多家主流新能源车型，实现了从"装备出厂"到"产品上车"的可靠闭环。

全制程解决方案：构建完整产业链生态

华工激光坚持技术创新与产业应用深度融合，已构建覆盖衬底检测、激光标刻、激光退火、激光开槽、激光改质切割、晶圆裂片等全制程的完整解决方案链，为化合物半导体行业提供专业化、高效率的"激光+智造"整体解决方案。

AI领域新布局：氦质谱检漏技术护航算力基础设施

随着AI算力密度持续攀升，华工激光将经过动力电池领域验证的氦质谱检漏技术体系延伸至AI液冷领域，打造氦质谱检漏测试智能装备&生产线。该方案通过三次检测、四工站协同、全自动生产的创新架构，为AI数据中心提供全方位的泄漏防护。

2024年12月，配置该氦检单元的华工激光新能源电池盖板组装检测线荣获工信部"揭榜挂帅"项目的权威认证，充分证明了其技术实力和行业领先地位。

IGBT模块焊接：新能源汽车核心技术的革新者

在第六届常州国际新能源工程与产业发展大会上，华工激光现场展示了全球首发IGBT模块焊接整体解决方案。该方案首次将激光技术引入PIN针焊接制造领域，取代锡焊、钎焊、超声等传统工艺方式，实现了IGBT模块高质量、全自动焊接。

技术亮点：

减少工序制程，降低设备投入

有效提高良率和效率

实现PIN针裁切上料、陶瓷覆铜板上料全流程自动化

未来展望：引领全球高科技发展

作为"SiC领域激光加工行业解决方案专家"，华工激光将继续深化产学研用一体化创新模式，持续以理论研究引领技术突破，加速前沿科研成果落地转化。公司致力于为化合物半导体先进激光加工及量测装备国产替代贡献重要力量，助力我国第三代半导体产业实现高质量发展。

华工激光正以领先的"激光+智造"技术实力持续突破行业制造瓶颈，矢志成为引领未来的全球高科技领军企业，为全球客户提供卓越的激光解决方案，共同推动电动汽车技术和AI算力基础设施迈向新的高峰。